低温等离子是继固态、液态和气态之后的第四种物质状态。当施加的电压达到气体的放电电压时，气体被分解，产生电子、各种离子、原子和自由基的混合物。虽然放电过程中电子温度很高，但重粒子的温度很低，整个系统处于低温状态，因此称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气污染物，使污染物在很短的时间内分解，以及各种后续反应达到降解污染物的目的。
过程一：高能电子的直接轰击
过程二：O原子或臭氧的氧化 O2+e→2O-
过程三：OH自由基的氧化 H2O+e→OH+H  H2O+O→2OH  H+O2→OH+O
过程四：分子碎片+氧气的反应
低温等离子废气处理设备的技术优势
1.介质阻挡放电在低温下产生高电子能和高等离子体密度，可达到普通等离子体技术(电晕放电)的1500倍，并能破坏几乎所有有机废气的分子链。
技术反应速度快，气体通过反应区的速度达到3≤15m/s，也取得了良好的处理效果。
3.自动化程度高，设备启动和停得很快，并按您的意愿打开。对于一些废气不是连续生产的收集点，通过循环启动和停止可以节省成本。